编辑部对工程师们特别关注的创新热销产品进行了一系列深度梳理和分析。这次主要针对MEMS机械传感器的主要厂商和产品。

MEMS 是一个复杂的多学科系统。其产业链类似于传统的半导体产业。整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件和应用解决方案。 MEMS传感器的应用已经渗透到各个行业，如工业自动化、航空航天技术、军事工程、资源开发、环境监测、医疗诊断、交通运输等。

2018年全球MEMS传感器市场规模约为146亿美元，同比增长10.8%。消费电子、汽车电子和工业控制是MEMS应用最多的三个下游行业。智能终端的需求是近年来最大的增长点。 Yole Development 预测，2018 年至 2022 年，全球 MEMS 传感器市场的年增长率有望达到 14.85%。

此外，MEMS的种类很多传感器，可以按不同的方式分类。常见的一种是将它们分为温度传感器、声学传感器、光学传感器和压力传感器。更详细的，电子爱好者会在后续整理出各种MEMS传感器。

本周我们将梳理MEMS机械传感器的主要厂商和产品型号。以下是具体内容。

TDK-英美生

MPU-6500

MPU - 6500是该公司的第二代6轴运动追踪设备，适用于智能手机、平板电脑、可穿戴传感器等消费市场。 MPU-6500 封装，是世界上最小的 6 轴运动跟踪设备，结合最新的 TDK Invensense 设计创新，适用于 MEMS 陀螺仪和加速度计，可显着减小芯片尺寸和功耗，同时提高时间性能和成本。全新 MPU-6500 满足市场对高性能应用的需求，如行人导航、情境感知广告和其他基于位置的服务，并支持新兴可穿戴传感器应用的规范，如远程健康监测、运动和健身跟踪等 消费者应用程序。

模拟设备

1、ADXL345BCCZ

ADXL345是一款轻量级的, 薄型、超低功耗3轴加速度计，具有高分辨率（13位），测量高达±16g特性，数字输出数据格式为16位二进制补码，通过SPI（3或4线）或I2C数字接口访问。 ADXL345 非常适合移动设备应用。它可用于测量倾斜感应应用中的静态重力加速度以及运动或冲击产生的静态加速度。其高分辨率 (3.9mg/LSB) 可以测量小于 1.0° 变化的倾角。

2 , ADXL3596/7

数字输出 ADXL357 是低噪声密度、低功耗的 3 轴加速度计，ADXL356/ADXL357 提供业界领先的低噪声，随温度变化的偏移漂移最小，其长期稳定性使得校准精度低的应用成为可能。

低漂移、低噪声、低功耗ADXL357可在振动较大的环境（如机载IMU）中进行精确的倾斜测量。 ADXL356在较高频率范围内的低噪声非常适合无线状态监测。

STMicroelectronics

1、LIS2DH12TR

LIS2DH12TR具有测量特性高达±400g加速度，电源电压范围为1.71至3.6V。具有低功耗模式、自动唤醒功能和FIFO缓冲区，可用于存储数据，从而降低主机处理器负载和系统功耗。

2、LIS3DH

LIS3DH是一款超低功耗高性能3轴线性加速度计，属于“纳米”系列，具有数字I2C/SPI串行接口标准输出。该设备具有超低功耗运行模式、先进的省电和智能嵌入式功能，可通过两个独立的惯性唤醒，并由设备自身位置配置产生中断信号。中断发电机的阈值和时间可由飞行的最终用户编程。 LIS3DH 具有集成的 32 级先进先出 (FIFO) 缓冲区，允许用户存储数据以减少对主控处理器的干扰。

3、L3GD20

MEMS 运动 该传感器具有一个三轴数字输出陀螺仪，它与 STMicroelectronics 的 L3GD20 陀螺仪相连，以测量设备的角速度。该器件的最大电压为 3.6V，温度范围为 -40°C 至 85°C。

博世

SMA130

博世新推出的SMA130三轴加速度传感器为汽车信息娱乐系统和车载信息服务系统应用提供信息。 SMA130 的尺寸仅为 2x2 毫米，非常易于安装。虽然尺寸很小，但传感器的测量范围从±2g到±16g，分辨率高达14位。极小的尺寸加上如此高的分辨率意味着传感器的电路设计提出了巨大的挑战。但是SMA130的工作电流只有130uA，非常节能。五种自定义节能模式可将功耗降低至 1uA。例如，当停车时间较长时，这种低能耗水平成为防盗系统的关键条件，以免传感器对电池造成过多负担。可以在不到 2ms 的时间内激活某种模式。这确保了每个应用程序都可以快速接收到传感器输出的相应可靠信息。

文章来源：《飞行力学》 网址: http://www.fxlxzz.cn/zonghexinwen/2021/0819/544.html